제품소개
제품소개
DRY
PGS-256S
반도체 공정으로부터 발생하는 폐가스를 흡착제(Resin) 성분을 이용하여 물리흡착 및 화학흡착 반응을 통하여 TLV 값 이하로 제거하여 무해한 가스로 정화하는 System
Resin을 이용한 효율적 Target Gas 흡착
CW 미 사용(UT절감)
제품사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| Dimension(W x D x H) | 740mm x 750mm x 1600mm |
| Power | 100~220 VAC, One Phase, 50~60Hz, 3A |
| Capacity | 200 SLM |
| Utilities | N2 |